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详细介绍
移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间
3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可*旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. *符合 Semi S2 标准
上海伯东 Pfeiffer 移动型检漏仪 ASM 390, ASM 392 与 ASM 380 技术参数对比:
型号 | ASM 390 | ASM 392 | ASM 380 |
检测气体 | 4He, 3He, H2 | ||
小检测漏率 | 真空模式: 1X10-12 mbar l/s | ||
对氦气的抽速 | 10 l/s | 25 l/s, 内置2台分子泵 | 7 l/s |
前级泵抽速 | 35 m3/h | ||
进气口大压力 | 20 mbar | 20 mbar | 15 mbar |
无校准的启动时间(20°C) | 2 min | 2 min | < 4.5 min |
进气口 | DN 40 ISO-KF | ||
响应时间 | < 1 s | ||
Interface, 选配 | RS-232, I/O, Ethernet | ||
噪音 | ≤ 55 dB (A) | ≤ 55 dB (A) | 53 dB (A) |
重量 | 125 kg | 130 kg | 110 kg |
尺寸(LxWxH) | 1072 x 455 x 1025 mm | 1072 x 455 x 1025 mm | 1065 X 455 X 1025 mm |
移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 应用领域: 可用于半导体和平板显示器行业以及其他要求*的应用
移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 目前在售型号:
型号 |
ASM 390, 通用电压 |
ASM 390, 通用电压, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF |
ASM 390, 通用电压, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF |
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板 |
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF |
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF |
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板,以太网 |
ASM 390, 通用电压,可配置的 I/O 接口板,以太网, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF |
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF |
ASM 392, 通用电压 |
ASM 392, 通用电压, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF |
ASM 392, 通用电压, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF |
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板 |
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF |
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF |
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网 |
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF |
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF |
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