1、电源:单相AC 220V 50Hz/60Hz 8KW(需50A的空气开关) 2、石英管:外管外径Ø279mm,内径Ø269mm,长1300mm,两端打开,可连接法兰 内管外径Ø216mm,内径Ø206mm,长750mm,一端封闭,一端连接气体出入口 3、加热元件:NiCrAl电阻丝 4、加热区域:长900mm 5、温区:3个,各300mm长 6、恒温区域:500mm(三个温区设置一样的温度) 7、工作温度:1100℃(<1h),连续工作200℃-1000℃ 8、升降温速率:10℃/min 9、热电偶:3个,K型 10、控温精度:±1℃ 11、真空度:10-2torr(机械泵) 12、法兰:左侧法兰包括化学气相淀积进气口和冷却气体进出口,右侧法兰设有KF-40真空接口和真空阀门 |