聚焦离子束电子束双束扫描电子显微镜

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先进的聚焦离子束电子束双束电镜（FIB)；是在场发射电镜基础上加离子枪、气体注射系统、纳米操作手等，可在微观照相的功能上拓展为对纳米材料的刻蚀加工、减薄、离子注入、沉积等，是纳米材料研究和应用中日益重要的工具。