RTP快速退火炉是我公司自主研发的功能强大的加热设备。RTP快速退火炉采用进口红外加热管加热,造型新颖结构合理,炉体和炉管可以自由滑动,可实现快速升降温。炉管内尺寸120mm,可以直接放下4英寸的材料,试样反应区处在一个密闭的石英腔体内,在完成生产工艺的同时也大大降低了间接污染试样的可能性。设备配备LCD高清触摸屏,设定数据实验操作均为图文界面,操作方便快捷易上手,能够大大提高您的实验效率。设备预留了真空和气路的快速接口,可以选购我们的真空系统和混气系统一起使用。
RTP快速退火炉应用领域:
快速退火炉设备,可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化、扩散、化合物半导体退火、离子注入后退火、电极合金化、晶化和致密化、合金熔点分析、薄膜沉积等。
RTP快速退火炉技术参数:
产品型号 | CY-O1000-120I-T-RTP |
炉管材质 | 高纯石英 |
炉管直径 | 120mm |
炉管长度 | 500mm |
炉膛长度 | 440mm |
加热区长 | 400mm |
恒温区长 | 200mm |
工作温度 | 0~1000℃ |
升温速度 | 推荐80℃/s,快升温速度200℃/s |
降温速度 | 200℃以上≤25min |
控温精度 | ±1℃ |
控温模式 | 30段或50段程序控温 |
显示模式 | LCD触摸屏 |
密封方式 | 304不锈钢真空法兰 |
法兰接口 | 1/4英寸卡套接头(Ø8宝塔嘴接头) |
可抽真空 | 4.4E-3Pa |
供电电源 | AC:220V 50/60Hz |
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