光氧废气处理设备废气的产生部位比较多，并且分散在车间中，因此在处理废气之前必须先把废气收集起来，所以需要集气系统对其进行收集后统一进行处理。
在车间机器产生废气的具体部位加上密闭系统，然后安装相对应的管道，利用风机作用将废气抽出；另外，一方面在车间四周的地面部位安装一定量的鼓风机，将车间内散布的废气由下而上鼓气，另一方面在车间顶部安装抽风机，使抽气量大于鼓风量，从而车间内产生一定的低负压，保证了车间内废气不会像外扩散。抽出的废气统一由管道外送进行处理。
是先将集气系统收集的废气输送到碱式吸收塔中，将废气由下而上输入，碱液通过喷淋的方式由上而下喷淋废气，经过吸收塔处理后的气体在经过一层水幕除尘后输入燃烧塔中。此过程去除了废气中含有的部分酸性气体和粉尘。废气仍然由下而上进入燃烧塔，在燃烧塔中燃烧后，除去了废气中含有的有机物，后再经过一层水幕除尘过程，再去除气体中因燃烧产生的粉尘，燃烧后的二氧化碳和水就排入大气中即可。
光氧废气处理设备
在上升过程中与来自塔顶的吸收剂逆流接触，净化后的气体由塔顶排出。吸收了VOCs的吸收剂通过热交换器后，进入汽提塔顶部，在温度高于吸收温度或压力低于吸收压力的条件下解吸。解吸后的吸收剂经过溶剂冷凝器冷凝后回到吸收塔。解吸出的VOCs气体经过冷凝器、气液分离器后以较纯的VOCs气体离开汽提塔，被回收利用。该工艺适合于VOCs浓度较高、温度较低的气体净化，其他情况下需要作相应的工艺调整。
在用多孔性固体物质处理流体混合物时，流体中的某一组分或某些组分可被吸表面并浓集其上，此现象称为吸附。吸附处理废气时，吸附的对象是气态污染物，气固吸附。被吸附的气体组分称为吸附质，多孔固体物质称为吸附剂。
固体表面吸附了吸附质后，一部被吸附的吸附质可从吸附剂表面脱离，此现附。而当吸附进行一段时间后，由于表面吸附质的浓集，使其吸附能力明显下降而吸附净化的要求，此时需要采用一定的措施使吸附剂上已吸附的吸附质脱附，以协的吸附能力，这个过程称为吸附剂的再生。因此在实际吸附工程中，正是利用吸附一再生一再吸附的循环过程，达到除去废气中污染物质并回收废气中有用组分。
燃烧法用于处理高浓度Voc与有恶臭的化合物很有效，其原理是用过量的空气使这些杂质燃烧，大多数生成二氧化碳和水蒸气，可以排放到大气中。但当处理含氯和含硫的有机化合物时，燃烧生成产物中HCl或SO2，需要对燃烧后气体进一步处理。
