PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
技术参数
主要特点 |
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参数 |
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产品规格 |
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可选配件 |
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质保期 | 一年质保期，终身维护 |
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小型等离子清洗机--PCE-6 产品信息
