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ALD回转炉系统

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  • 公司名称长沙沛钰进出品贸易有限公司
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/2/8 15:28:27
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长沙沛钰进出口贸易有限公司和湖南湘鲁科学仪器有限公司(兄弟公司)是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。沛钰二维码公司所涉及的产品遍布大专院校、科研单位、工厂企业、商检、、农业、食品、超市、治金矿山、建筑、石油、路桥等行业。主要产品:生命科学仪器,化学分析仪器,光学仪器,物性测试仪器及设备,环保设备/流量仪表,行业专用仪器,药物检测仪器,种子仪器,农业和食品仪器,石油仪器,煤炭仪器,测绘仪表,建筑仪器,公路仪器,地质仪器,电工仪器仪表,自动化仪表,气象仪器,环保仪器,电教器材,无线电仪器,小型机械等。并且提供与生物技术相关的实验室科研仪器设备、实验室耗材与试剂、实验室设计、规划、改建等服务。公司以“高品质,高服务,高信誉”赢得各地市场,各个领域的好评和欢迎。未来,公司将引进和代理更多国际国内品牌产品,并将研发自有品牌的产品以满足市场不同的需求,以更高质量的产品,更高质量的服务,更高效率的运营,朴素而先进的管理理念,为客户提供更优良的产品和服务!公司宗旨:客户至上 诚信为本 开拓创新 成就 懂道直行 合作共赢公司愿景:成为的仪器供应商 开创一个的仪器时代py-07我公司主要代理产品有:合肥科晶材料技术有限公司 -------------------------- 箱式炉、管式炉、CVD系统及电池成套设备。北京泊菲莱科技有限公司 ------------------------- 光催化设备、氙灯光源。上海和泰仪器有限公司 -------------------- 超纯水机。芬兰艾斯玛特生物技术有限公司 ------------------- 移液器武汉蓝电电子有限公司 ------------------------ 电池测试系统、超级电容器测试系统。上海佑科 --------------------------------- 电子天平。梅特勒、赛多利斯、奥豪斯 -------------------------- 电子天平。美国PINE公司 ----------------------------------- 旋转圆盘电极装置、双恒电位仪。上海佑科、上海光谱仪器有限公司 ---------------------- 紫外、 分光光度计、原子吸收。上海辰华仪器有限公司 ---------------------------- 电化学工作站。上海一恒、精宏、博讯 --------------------------- 干燥箱、培养箱、高低温试验箱等。中科美菱、中科都菱低温科技有限责任公司 ------ 超低温冰箱、冷藏箱等湖南湘仪、湖南迈克尔、长沙英泰 --------------- 离心机。上海亚荣、长城、予华、爱博特 ------------------- 旋转蒸发器。昆山美美超声仪器有限公司 ---------------------------- 等。上海智诚 ---------------------- 智能恒温摇床.大龙兴创实验仪器(北京)有限公司 -------------- 移液器、磁力搅拌器、电动搅拌器。IKA、上海司乐仪器有限公司 ---------------------- 磁力搅拌器。宁波新芝、北京博医康 ---------------------- 冷冻干燥机。临海市谭氏、北京中兴伟业 ---------------------- 真空泵。
产品详情型号:ALD-1200X-R-4产品概述:ALD-1200X--R-4是一款4英寸ALD旋转管式炉系统,包含用于原子层沉积的2个ALD进气阀、1个精密液体气相发生器以及4通道质子流量计控制系统,可利用此系统进行粉末表面的ALD和CVD包覆
ALD回转炉系统 产品信息
产品详情

型号:ALD-1200X-R-4

产品概述:ALD-1200X--R-4是一款4英寸ALD旋转管式炉系统,包含用于原子层沉积的2个ALD进气阀、1个精密液体气相发生器以及4通道质子流量计控制系统,可利用此系统进行粉末表面的ALD和CVD包覆。该系统简洁的设计使得更多的科研院所能够在可负担的低成本情况下实现ALD工艺实验。

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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
控制面板

蒸汽压力、ALD以及气体流量参数均可通过一6英寸接触屏由PLC进行控制

 

两个ALD进气阀

 

一个精密的4通道质子流量计系统

 

请点击下图查看控制面板(点击图片查看详细资料)

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ALD进气阀

两个ALD脉冲电磁阀(最小可在10ms完成阀门的开启或关闭)

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精密液体气相发生器

精密液体气相发生器包含在本系统中并且连接到ALD进气阀

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旋转管式炉

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连续工作的温度为1100℃

 

两个温区由两个独立的温控系统来控制,而且都为PID30段程序化控温

 

输入电压:208-240V AC,单向

 

功率为4KW

 

炉管旋转速度:0-10rpm

 

回转炉炉管结构如下图所示:

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真空计

公司具有多种真空机可供选(点击下图链接)

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真空泵(选配)

公司具有多种真空泵可供选配(点击下图链接)

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更多可选配件 

可选购气液混合装置,用于CVD系统(图1.2)

 

可选购恒温控制模块(图3)

 

可选购金石英测试晶体(图4)以及热电偶用于薄膜厚度以及温度的测试

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质保期

一年保质期,终身维护(不包含炉管,加热元件和密封圈)


质量认证

所有电器元件(>24V)均满足CE/UL/MET/CSA认证,如您另付费用,我们可保证单台仪器通过TUV(UL61010)或CSA认证


注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

 

由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

 

当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

 

进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 

点击此处了解如何选择本公司石英/陶瓷管以及管式炉真空法兰


相关应用

可利用ALD系统显著降低石榴石结构固态电解质与电极之间的高的固固界面阻抗,相关文献:Negating interfacial impedance in garnet-based solid-state Li metal batteries

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