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OTF-1200X-III-R5-PECVD 1200℃5英寸三温区等离子增强粉体回转炉系统

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公司名称深圳市科晶智达科技有限公司
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厂商性质其他
更新时间2023/2/11 16:11:01
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公司介绍主营产品

深圳市科晶智达科技有限公司2001年成立于深圳，是一家聚焦服务于高校、研究院所、企业研发部门的国家企业，长期致力于打造安全、高效、智能的实验研发一站式服务平台，为科学研究与产业孵化赋能。深圳科晶与美国MTI、合肥科晶、沈阳科晶同属MTI-科晶联盟，目前已经搭建辐射的服务网络，精心为科学家们的实验室提供交钥匙工程解决方案。深圳科晶创立初期主要为半导体、精密光学器件提供洁净存储和安全转移所使用的包装制品，产品包括各种塑料胶盒、膜盒、晶圆盒、海绵盒、花篮等。公司2008年开始进行材料相关研发设备和锂电池实验设备的开发，经过十多年的积累深圳科晶现已成为新能源和新材料基础研究、小试与中试、测试与评估的整体解决方案规划者和提供者，产品应用涵盖了石墨烯材料、先进陶瓷、先进纳米材料、锂离子电池、超级电容器、燃料电池、固态电池、钙钛矿太阳能电池、功能薄膜等方向。主要产品系列： ? 材料基础研究实验装备（包括混料、涂覆、镀膜、压制、烧结、切割、研磨、抛光、粉碎、制粉、造粒、熔炼等）； ? 电池研发实验制备装备（包括锂离子电池、固态电池、超级电容器、金属空气电池、钠离子电池、液流电池、太阳能电池等制备方案）； ? 电池安全测试装备（符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等国际国内标准等）； ? 锂离子电池中、小试生产制备全流程系统装备方案，交钥匙工程（包括扣式、柱状、软包、方形铝壳等各种全电池制备方案）； ? 燃料电池研发实验制备装备（包括固体氧化物、质子交换膜燃料电池等制备方案）； ? 钙钛矿太阳能电池研发实验制备； ? 功能薄膜研发实验设备（包括混料、涂布、辊压/复合、分切、复卷等）； ? 高通量材料基因组实验设备（包括配液、配粉、混合分散、压片、烧结、测试表征等）；公司设立了开放的研发实验室和设备体验中心。对于锂电池行业，可实现公斤级别材料制备及电池研发，能接受上门小批量材料验证、定向工艺研究及小量成品电池制备等研发工作。深圳科晶强大的研发团队支撑了丰富的产品链，针对现有产品具有知识产权的发明和实用新型近百项（包含PCT和国内发明），并参与行业多项标准制定且获得多个行业协会认可。本着“精诚合作、创新共赢”的宗旨，深圳科晶先后与清华大学、南开大学、上海交通大学、深圳大学、中航发航材院、溧阳天目湖研究院等十多个高校机构和企业签署产学研合作。与此同时，深圳科晶设立了对外服务的公共试验平台，承接科研人员参观交流与现场测试体验，配备行业的售前技术人员协助研究者充分了解相关工艺和设备，缩短调研考察与决策时间。该实验室平台也可以承接相关工艺试验服务和培训咨询服务，协助细分领域的科研工作者快速掌握产业工艺，从而专注前沿研发。材料科学是基础科学。纵观人类科技的发展历史，新型材料的发现和应用将带来巨大的产业机遇，而先进的实验装备和仪器是为科研和应用保驾护航的重要保障。科晶团队将一如既往秉承“客户为本，技术为导，诚信为基，积极创新”的运营理念，竭力为科学研究和科技发展做出贡献。

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产品简介在线询价

OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等离子增强化学气相沉积三温区回转管式炉系统（R-PECVD），等离子增强系统的引入可在相对较低的温度下实现粉末表面的包覆复合、核壳结构制备等工艺过程

OTF-1200X-III-R5-PECVD 1200℃5英寸三温区等离子增强粉体回转炉系统产品信息

OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等离子增强化学气相沉积三温区回转管式炉系统（R-PECVD），等离子增强系统的引入可在相对较低的温度下实现粉末表面的包覆复合、核壳结构制备等工艺过程。自动进出料系统可实现连续生产，可保证在气氛保护环境下进行粉体的进给以及收集，包含射频电源（带自动匹配功能）、4通道质子流量计控制系统以及真空泵系统，可由PLC触摸屏或者PC电脑控制，使用方便快捷。

性能指标和基本配置
结构特点	● 炉体可在0 ~ 25°内倾斜有利于粉末样品的装卸 ● 300W射频电源（13.56MHz）可实现等离子增强从而显著降低实验温度 ● 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性 ● 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控 ● 配备自动进出料系统可实现连续生产，可保证在气氛保护环境下进行粉体的进给以及收集
三温区回转炉	● 温度：1200ºC(< 1h) 连续工作温度：1100℃ ● 三个PID温度控制器以及30段可编程温控系统，控温精度：±0.1℃ ● 输入功率：208-240V，单相，功率：4KW ● 高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗 ● 回转炉旋转速度：2-10rpm ● 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管 ● 三温区：152mm+304mm+152mm，总温区长度为609mm ● 恒温区长度：480mm(三温区设置为同样温度时，±2℃)
等离子射频电源	● 输出功率：5-300W可调（稳定性：±1%） ● 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%) ● 反射功率：100W ● 匹配：自动匹配 ● 射频输出端口：50Ω、N型 ● 噪音：＜50dB ● 冷却: 空气冷却 ● 电源: 208 -240VAC, 50/60Hz
石英管	● 标准5英寸高纯异形石英管 ● 两端直径为60mm,中间直径为127mm
密封法兰	● 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头） ● 磁流体密封旋转接头安装在两端保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕
旋转速度	2-10rpm可调
炉体可倾斜角度	0~30°
真空泵及真空表	● EQ-YTP-550双级真空泵包含在设备中，请点击图片了解详细参数 ● KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵 ● 真空度可达10-2Torr 注：可选购防腐型数显真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氢气等其他气体氛围下的真空度测量
4通道质子流量计控制系统	4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）流量范围: ● 一路: 0~100 SCCM ● 二路: 0~200 SCCM ● 三路: 1~200 SCCM ● 四路: 1~500 SCCM ● 电压：208-240V AC 50/60Hz 气体进出口配件： ● 6mmOD的聚四氟管或不锈钢管 ● 不锈钢针阀用于手动控制气体进出 ● PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置
容积式进料器	● EQ-PF-1S是一款容积式自动喂料器，包含一电动搅拌器以及带有振动装置的不锈钢料斗。可实现固体粉料的自动化喂料，从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理 ● 2L不锈钢收集桶安装在右侧，可实现真空气氛保护环境下的粉料样品收集（标配中包含）
温度控制	● 2个温区分别由2个独立的温控系统控制 ● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序 ● 采用K型热偶，控温精度+/- 1℃ ● RS485通信端口。
产品尺寸	2800mm L x 800mm W x 1700mm H，供气系统：60600mmL x 700mm W x 700mm H
产品重量	180kg
应用注意事项	●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●石英管的长时间使用温度＜1100℃ ●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证	所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证，如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。
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