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1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统2

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称合肥科晶材料技术有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/6/1 9:27:26
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合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是合肥物质科学研究院的下属企业。(更多内容请点击“企业展示中心”) 公司目前主要从事氧化物晶体(A-Z)系列材料研发生产、溅射靶材制备和材料实验室及电池研发全套设备。公司从成立之初研发高温超导薄膜基片大尺寸LaAlO3单晶做起,目前MgAlO4、NdGaO3、LSAT、3英寸LaAlO3等晶体是行业供应商。设备研发的各种高温炉,大尺寸高温高压炉,热等静压炉,单晶生长炉等,用于石墨烯、高通量、蒸发镀膜、高温超导薄膜、超导块材和线材的制备设备,涉及新能源材料,电池制备等成套设备,并为科研工作者提供材料研究解决方案,已经成为企业。(更多内容请点击“根据应用寻找设备”) 公司先后被认定为国家“企业”,安徽省企业技术中心,安徽省“专精特新”企业,合肥市工业设计中心等荣誉称号;公司材料实验室被认定为安徽省光电晶体材料装备技术工程研究中心。产品远销美国斯坦福、麻省理工学院、哈佛大学、英国牛津大学,新加坡国立大学等世界所有高校、苹果、惠普、巴斯夫、特斯拉等国际公司,以及国内985、211高校、中科院物理所、核能所等高校科研院所也是我公司忠实用户。(更多内容请点击“客户案例”) 公司自成立以来,十分重视科技创新和产学研合作工作,尤其是把“纳天锡人士,铸科晶伟业”作为重要工作来抓,董事长江晓平博士亲自带领一支高素质和强大创造力的高水平人才团队,并与合肥物质科学研究院等高校科研院开展紧密的产学研合作,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展作出贡献。科晶设备公司自2002年涉足材料制备研发设备,十多年来不断追求产品品质,力求精益求精。从混料球磨、压片成形、高温烧结到样品切割、磨抛成相,再到薄膜制备和电池制备,公司不断研发制造用于材料制备的全套解决方案,全面满足各领域产品制备需求,努力为客户打造一站购齐式服务体验。科晶晶体与材料1997年公司成立之初,主要研发生产超导基片。经过二十三年的发展,目前自主研发的MgAlO4、NdGaO3、LSAT、3英寸LaAlO3等晶体是世界供应商。从晶体到靶材、薄膜,再到蒸发料、粉料、金属丝箔及纳米材料,上千种材料的丰富供给,构建起行业的科研材料产品体系。需求全套解决方案为客户提供产品的成套解决方案,全工艺链的产品以及非标定制方案,努力为客户提供一站购齐式服务。另外还为客户提供实验室解决方案,帮助客户制定实验室规划,与辅助设备建议。应用技术实验室安徽省级企业技术中心,是一个集材料制备、样品检测及技术服务于一体的多功能共享实验室,客户可以使用科晶实验室进行材料制备及检测、工艺探索和应用技术交流,同时实验室团队可以为客户提供工艺培训,实习,实验代加工,联合项目等多种服务项目。售后维修从产品支持到售后保障,科晶公司专业的售后服务团队全年不间断的为客户提供线上,线下维修服务,全面保证客户设备的正常使用,做到购买产品,终身维护。实验安全科晶重视客户的实验安全,针对一线设备使用的科研人员,提供全公益性质的线上或线下,标准或定制的设备与药品技术支持与培训,以及针对性的安全相关设备开发。
管式炉选型
型号: OTF-1200X-II-PEC4 产品概述: OTF-1200X-II-PEC4是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积(HPCVD)双温区回转炉系统。此系统由射频电源(带自动匹配功能)、上游原位蒸发舟、4通道质子流量计控制系统及性能优异的真空泵组成。此套完整的设备适用于无机复合粉末的热处理及粉末表面的均匀包覆(如:制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等)。
1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统2 产品信息
设备名称

1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统—OTF-1200X-II-PEC4 (2019.12.23—科晶实验室审核)

产品提示

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示   4、配件妥善保管提示

产品特点

▪ 炉体可在0 ~ 25°内倾斜有利于粉末样品的装入和取出

▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度

▪ 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性

▪ 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控

▪ 集成在前端的带钨丝加热的坩埚舟可以对前驱体进行蒸发用于后续的混合物理化学气相沉积阶段。

相关视频

QQ截图20200629145546.jpg    image.png

           操作视频                   回转炉+送料器操作视频

加热炉参数

▪ 温度:1200ºC(<>

▪ 两个PID温度控制器及30段可编程温控系统;

▪ 输入功率:208-240V,单相,功率:2.5KW;

▪ 高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗;

▪ 回转炉旋转速度:2-10rpm;

▪ 炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管。


加热炉参数.jpg    图片1.jpg



更多参数请联系科晶销售部

蒸发舟参数

▪ 0.7mL氧化铝坩埚(由钨丝加热圈包围);

▪ S型热电偶插入坩埚中实现对蒸发物料的精确测温;

▪ 温度可达1300℃(<1h),长期使用温度:1200℃(当管内温度达800℃时,蒸发舟温度可达1500℃)。


蒸发舟图1.png    蒸发舟照片.jpg   蒸发舟图3.jpg

射频电源

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择,以满足不同实验条件的需求。



300W射频电源

500W射频电源

100W射频电源

输出功率

0-300W可调

(稳定性:±1%)

0-500W可调

(稳定性:±1%)

0-100W可调

(稳定性:±1%)

射频频率

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

匹配

自动匹配

自动匹配

手动匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷却方式

风冷

风冷

风冷

输入电压

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

图片

图片2.jpg 

图片3.jpg 

图片4.jpg
真空系统

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵;

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

▪ 真空度可达10-2Torr。


图片5.jpg

供气系统

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);

▪ 流量范围:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


▪ 电压:208-240V, AC, 50/60Hz;

▪ 气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出;

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。


图片6.jpg      图片7.jpg

产品尺寸和重量

▪ 炉体尺寸:2800mm L ´ 800mm W ´1700mm H;

▪ 混气系统尺寸:600mmL´850mm W´700mm

▪ 净重:180kg


设备尺寸.jpg

认证

▪ 如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

图片1.png

承诺

▪ 一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)

▪ 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

国家

名称:一种等离子增强旋转炉装置


号:ZL 2019 2 1533393.7


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