双温区管式炉、单晶硅片退火炉、多温区实验炉

北京大学东莞光电研究院是北京大学与东莞市人民政府共同组建的事业单位，于2012年8月正式成立。研究院位于东莞市松山湖园区。 主要以第三代半导体材料与器件技术的研发为核心，正在逐步建设成为科技**、科技成果转化、高科技产业孵化和人才培养的基地，承担国家、省、市系列重大科研和产业化任务，为东莞市光电产业的发展提供强有力的技术支持。研究院建有半导体照明技术研发平台、激光显示器件技术研发平台、电子功率器件技术研发平台、光电精密仪器设备研发平台、光伏应用技术研发平台、公共检测服务平台。选择国际上光电领域核心技术前沿、应用广阔和产业化前景良好的项目，开展相关研究和产业布局。同时加强与国内高校特别是广东省内高校、企业开展多方面的合作，在东莞打造国际化的优异研发平台，吸引更多的国际**人才及项目落户东莞，形成国际化光电产业的研发、生产、销售的产业集群，为当地相关技术产业带来强大的推动力，促进形成新的经济增长点和国际化新型光电东莞的建设。